某半导体行业导致机构因晶圆的洗涤工艺技术导致含氨化工废水,的水量200吨/天。化工废池里除氯离子外还内含氟化物和微量分析高价属,处理等级大。内地排放物标淮规定氯离子<5mg/L,氟化物<3mg/L。
化工废水组成成分及來源
晶圆除污工业废水(重要源于):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺程序化工废水:含微量分析铜、镍等天价属,pH值下跌大
CMP碾磨工业废水:含硅科粒及挥发酚
进行处理制作工艺程序流程
选取"无机化学沉淀出的+膜分離+折点氯化"搭档加工制作工艺 :
预处里
:加药系统CaCl2除氟,把握pH在7.5-8.
反渗透装置程序
:快速清理0.01μm超过颗粒肥料物
反构建浸提
:将高锰酸盐指数萃取至1000mg/L左右
折点氯化
:精密把握氯加药系统量,将挥发酚和转化了为惰性气体
亚铁离子交易
:有效保障高价属标准
决定体验
氟化物保持稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属含碳量小于检查限
水使用率达75%
污泥处理生成量下降40%