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半导体厂高浓度氨气酸性废气处理案例

某半导体设备厂高氧浓度氯气+偏酸乙炔气合作进行处理品牌 一、项目流程大环境与的废气优点 该厂正离子添加、散出流程转变成高有机废液渗透压氯气(NH₃,有机废液渗透压5,000-8,000mg/m³)与酸碱性有机废液气休(HCl、H₂S,有机废液渗透压1,000-2,000mg/m³)相溶废液,新风量10,000m³/h。氯气还具有强的结垢性,酸碱性有机废液气休结垢性强,若会直接摆放会转变成铵盐颗料物,加重部位PM2.5废弃物,且对附过农饲料作物生长发育可能会导致威胁。 二、处置流程设计的 所采用**“酸碱度采和洗洁+催化反应被氧化+抗逆性炭树脂吸附”**的联办工艺设备,针性欲望性化解二氧化氮与酸碱性有害气体的一体化我们要除方面:

酸碱中和洗涤:废气首先进入双塔串联洗涤系统,第一塔喷淋稀硫酸(H₂SO₄)溶液,中和氨气生成硫酸铵(可回收作为化肥原料);第二塔喷淋NaOH溶液,中和HCl、H₂S等酸性气体,生成NaCl、Na₂S等无害盐类。

催化氧化:中和后的废气仍含微量NH₃与酸性气体,进入催化氧化装置,在Pt/Al₂O₃催化剂作用下,通过低温氧化(300-400℃)将残留污染物彻底分解为N₂、H₂O、CO₂。

活性炭吸附:最后通过活性炭吸附塔,捕获微量有机杂质与颗粒物,确保排放浓度≤50mg/m³(NH₃)、≤20mg/m³(HCl),满足《恶臭污染物排放标准》(GB 14554-93)要求。

三、治理产品层面优缺点

资源回收能力:硫酸铵回收系统可将中和产生的硫酸铵溶液浓缩结晶,作为农业肥料销售,年创收超50万元,实现“以废治废”的循环经济模式。

高效协同去除:双塔串联洗涤设计,可同时处理氨气与酸性气体,避免单一洗涤塔因pH波动导致处理效率下降;催化氧化装置采用抗中毒催化剂,可耐受硫化物、氨气等杂质,使用寿命超3年。

安全防爆设计:氨气与空气混合易形成爆炸性气体(爆炸极限15%-28%),洗涤塔与催化氧化装置均配备氮气吹扫、泄漏报警、紧急切断系统,确保处理过程零事故。

四、办理功能与机构整体 项目流程投产后,氢氧化钠、HCl排放出浓度值对应降落到30mg/m³、10mg/m³,盐酸铵年收旧量超200吨,创收200万元;外面住户投诉信量下调95%,企业的有“环保标准社会化责任书奖”,在人民政府招标公示中优先选择荣获“浅绿色生产商”,支付订单量同比增速增涨30%。

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